مهدي تاجداري، سعيد زارع چاوشي، احسان شهبازي
مركز مكانيك و فناوري هاي ساخت، دانشگاه صنعتي مالك اشتر تهران
zare@ma6.iuim.ac.ir
چكيده
ميكرو ماشين كاري و تكنولوژي هاي ساخت در اندازه ميكرو كه بطور مستقيم براي ساخت سيستم هاي ميكرو الكترو مكانيكي استفاده ميشوند، محدويت هاي خاص خودشان را دارند. براي مثال در اين تكنولوژي، ساختاري كه توليد ميشود اغلب به استفاده از سيليكون محدود ميشود و تجهيزاتيكه براي اين تكنولوژي مورد نياز است، بسيار گران ميباشد. روش هاي پركاربرد ميكرو ماشين كاري و تكنولوژي هاي ساخت قطعات در ابعاد ميكرو شامل پروسه هاي روبرو ميباشد: (1) متدهاي براده برداري مانند ميكرو ماشين كاري تخليه الكتريكي، سنگ زني با تخليه الکتريکي و سيم و ميكرو ماشين كاري ليزر (2) تكنيك هاي رسوب دهي ماده مانند رسوب دهي بخار شيميايي به كمك ليزر، استريو ليتوگرافي ماورا بنفش، اچ كردن (3) LIGA (كه از يك كلمه آلماني گرفته شده) و ديگر متدهاي وابسته به فوتوليتوگرافي. مقاله حاضر به بررسي و مقايسه متد هاي ذكر شده پرداخته است. براي ارزيابي روش ها و معيارهاي مطرح شده، در پايان جدولي تهيه شده است كه به مقايسه روش ها و تكنولوژيهاي ذكر شده و نقاط قوت و ضعف هر يك مي پردازد. با توجه به اين جدول، پروسه LIGA علي رغم تجهيزات گران و قيمت ساخت آن، يکي از مهمترين و كارآمد ترين تکنيک ها ميباشد.
واژههاي كليدي: ساخت در اندازه ميكرو – ميكرو ماشين كاري - LCVD- استريو ليتوگرافي - LIGA
