طراحي يک خازن قابل تنظيم ميکرو ترمو الکترو مکانيکي بر پايه انحراف انتهاي تير يک سر گير دار بي متال و کنترل دماي آن
سيد هيبت الله اميديان ، قادر رضازاده
دانشگاه ازاد اسلامي واحد نجف آباد دانشكده تحصيلات تكميلي
دانشگاه آزاد اسلامی واحد نجف آباد، دانشکده تکميلي
armanomid@gmail.com
چكيده:
ساخت و طراحي خازنهاي قابل تنظيم در سيستم هاي مخابراتي و مدارهاي الکتريکي يک امراجتناب ناپذير است . در اين مقاله يك خازن حرارتي ميكرو الكترو مكانيكي بر پايه انحراف انتهاي يک تير يك سر گير دار طراحي شده است با کنترل تغيير دما، انحراف تير بي متال و در نتيجه مقدارظرفيت خازن قابل کنترل خواهد شد. معادلات ترمو مکانيکي حاکم بر مساله استخراج و به روش تحليلي حل شده اند. نتايج حاصل نشان ميدهد که تغييرات ظرفيت خازن به شکل خطي با تغييرات دماي تير بي متال متناسب است.
كلمات كليدي:
ميكرو الکترو مکانيکي، تير بيمتال، تير يك سر گير دار ، خازن قابل تنظيم
