بابک عبدالله زاده - پيمان محمدپور صومعه - رامين محمدپور شترباني
دانشگاه اروميه - گروه ساخت و توليد
Mohamadpour@yrct.com
چکيده
تكنولوژي ماشين كاري ميكرو با استفاده از فوتوليتوگرافي بر روي بنيان سيليكون يكي از فرآيندهاي كليدي براي ساختن ريز ساختارها مي باشد که با اين وجود برخي محدوديتها در اين فرآيند به دليل ساختار تقريباً سه بعدي آن وجود دارد و آن نسبت ظاهري پايين آن و محدوديت مواد كاري ميباشد ، ليتوگرافي عميق اشعه ايكس با استفاده از اشعه تابشي همزمان و فرآيند ماشين كاري اشعه يون متمركز ميتواند ساختارهاي فرو ميكرون سه بعدي با نسبت ظاهري بالا و دقت فرم بسيار بالا توليد كند ، اين روشهاي برداشتن مواد تقريباً ميتوانند هر ماده مانند فلزات، پلاستيكها و يا نيمه هاديها را ماشين كاري كنند. هم چنين محدوديتي در شكل ماشين كاري وجود ندارد. سطوح مسطح، انحناهاي دلخواه و محورهاي بلند را ميتوان ماشين كاري كرد و براي ساختن مدلهاي پيچيده سه بعدي با استفاده از مواد قالب بسيار سخت، ماشين كاري با تخليه ميكرو الكترو) يكي از فرآيندهاي ماشينكاري جايگزيني است كه ميتواند با موفقيت به كار رود. ميكرو EDM ميتواند تقريباً هر ماده هادي را بدون توجه به سختي آن ماشين كاري كند.
واژگان کليدي : EDM - ماشين کاري - ريز ساختار - حفره - الکترود
