خليل خليلي ، سوسن صادقي بجد ، محسن حاجيان 
گروه مكانيك دانشكده فني و مهندسي دانشگاه بيرجند
k.khalili@yahoo.com  يا k.khalili@birjand.ac.ir

چكيده
 ماشين كاري نوري شيميايي (Photochemical machining) كه خوردگي نوري(  Photoetching) و فرزكاري نوري شيميايي(  Photochemical milling) نيز ناميده مي‌شود يك فرآيند ماشين كاري غير سنتي(Non-traditional) مي‌باشد كه تركيبي از پوشش مقاوم نوري و خوردگي شيميايي است. در اين تحقيق تلاش شده است مطالعه در مورد فرآيند ماشين كاري نوري شيميايي با استفاده از پوشش دهي مايع انجام گيرد. با وجود امکانات محدود، آزمايشات متعددي از نظر نوع و مقدار ماده فتورزيست (Photoresis)، منبع نوردهي و مدت زمان نوردهي، روش هاي آماده سازي فيلم نگاتيو و پوزتيو، روشهاي مختلف استفاده از محلول خورنده، روشهاي پوشش دهي و خشک کردن فتورزيست مايع انجام گرفت سپس چند قطعه طراحي گرديد و با کيفيت قابل قبول از دو جنس مس و فولاد st37 ساخته شده است.
 
واژه‌هاي كليدي: ماشين كاري نوري شيميايي -فتورزيست مايع- پوشش دهي- محلول خورنده.

ماشين كاري نوري شيميايي